(相关资料图)

12月23日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：微导纳米）在科创板成功上市，微导纳米是国内领先的薄膜沉积设备生产商，是国内率先将原子层沉积（ALD）技术应用于光伏领域的企业。此次公开发行，该公司发行价格为24.21元/股，发行数量为4545万股。

ALD技术业内领先 客户优势显著

微导纳米以原子层沉积(ALD)技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。招股书显示，报告期内该公司的营业收入分别为21581.56万元、31255.41万元、42791.71万元和15561.31万元，年均复合增速40.81%，值得一提的是，微导纳米截至2022年9月末在手订单增速超过120%，高于行业平均增速。

与传统工艺相比，微导纳米的ALD工艺ALD可以一个原子的厚度（0.1nm）为精度沉积薄膜，在100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级的薄膜厚度，适用于原子层厚度控制以及三维、超高深宽比结构器件的应用。这使得微导纳米的产品具备优良的性能，在保障光电转换效率的同时，亦能有效帮助下游电池片厂商大幅降低了设备投资额与生产消耗成本。此外，该公司的ALD设备镀膜速率陆续突破10,000片/小时、15,000片/小时乃至20,000片/小时，新型高产能机型已进入量产阶段，打破制约ALD技术应用于光伏领域的产能限制，成为行业主流镀膜方案之一。截至目前，微导纳米已获得包括通威太阳能、阿特斯、隆基股份、天合光能等多家重要光伏客户订单，并在TOPCon、XBC等高效电池生产线上开展应用，成为国内主要的光伏镀膜设备企业之一。此外，在半导体领域，微导纳米先后获得多家国内知名半导体公司的商业订单，并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。

重视自主创新 上市募资谋发展

微导纳米始终坚持科技是第一生产力，招股书显示，该公司2019-2021年研发支出占营收比重分别为14.41%、17.19%、22.68%，研发投入持续增长。同时，微导纳米以海内外专家为核心，积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领域工程师，形成了跨专业、多层次的人才梯队，截至2022年6月末，该公司研发人员共有206名，占员工总数的25.50%。

通过坚持自主研发，微导纳米已形成原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等多项核心技术，上述核心技术成功应用于公司各类产品。该公司同时将基础研发与行业应用紧密结合，以下游客户的实际需求为导向，产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节。在成功将ALD技术应用于光伏领域后，微导纳米开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，并实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺中的突破。

此次IPO上市，微导纳米募集资金将分别用于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目和补充流动资金。随着募投项目的顺利达产，将进一步增强该公司的核心技术的行业竞争力。

关键词： 薄膜沉积 核心技术 集成电路